• 专利标题: 温控装置、处理装置以及温控方法
  • 专利标题(英): Temperature control apparatus, processing apparatus, and temperature control method
  • 申请号: CN200880008001.3
    申请日: 2008-03-12
  • 公开(公告)号: CN101632052A
    公开(公告)日: 2010-01-20
  • 发明人: 野村雅俊
  • 申请人: 卡西欧计算机株式会社
  • 申请人地址: 日本东京都
  • 专利权人: 卡西欧计算机株式会社
  • 当前专利权人: 卡西欧计算机株式会社
  • 当前专利权人地址: 日本东京都
  • 代理机构: 永新专利商标代理有限公司
  • 代理商 宋献涛; 王英
  • 优先权: 074402/2007 2007.03.22 JP
  • 国际申请: PCT/JP2008/055019 2008.03.12
  • 国际公布: WO2008/126650 EN 2008.10.23
  • 进入国家日期: 2009-09-11
  • 主分类号: G05D23/24
  • IPC分类号: G05D23/24
温控装置、处理装置以及温控方法
摘要:
本发明描述了一种温控装置,包括:电阻加热器,其特性在于电阻加热器的电阻值根据其温度而改变;信号发生器,输出具有通路电压和第二电压两种电压电平的控制信号;开关部分,当控制信号的电压电平为第一电压时,使第一电流流经电阻加热器,而当控制信号的电压电平为第二电压时,使电流值比第一电流的小的第二电流流经电阻加热器;以及电压测量装置,在第二电流流经电阻加热器时,测量电阻加热器上的电压值,其中信号发生器根据由电压测量装置所测量的电压值来控制电阻加热器的温度。
公开/授权文献
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