发明授权
- 专利标题: 一种多阈值高压MOSFET器件
- 专利标题(英): High voltage multi-threshold MOSFET device
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申请号: CN200910052701.9申请日: 2009-06-09
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公开(公告)号: CN101635310B公开(公告)日: 2011-07-06
- 发明人: 黎坡 , 张拥华 , 周建华 , 彭树根
- 申请人: 上海宏力半导体制造有限公司
- 申请人地址: 上海市张江高科技园区祖冲之路1399号
- 专利权人: 上海宏力半导体制造有限公司
- 当前专利权人: 上海华虹宏力半导体制造有限公司
- 当前专利权人地址: 上海市张江高科技园区祖冲之路1399号
- 代理机构: 上海智信专利代理有限公司
- 代理商 王洁
- 主分类号: H01L29/78
- IPC分类号: H01L29/78 ; H01L29/51 ; H01L29/423 ; H01L29/06 ; H01L21/336
摘要:
本发明提供一种多阈值高压MOSFET器件,属于金属氧化物半导体场效应晶体管技术领域。多阈值高压MOSFET器件包括栅电极、栅介质层、源极、漏极、偏移区以及半导体衬底,栅电极构图形成于栅介质层之上,通过栅电极的构图修改未被栅电极覆盖的栅介质层与被栅电极覆盖的栅介质层的面积比,导致单位面积电容Cox变化来调整所述多阈值高压MOSFET的阈值电压。该多阈值高压MOSFET器件具有阈值电压易于实现变化的特点,并且若干个多阈值高压MOSFET的栅电极的构图过程中,可以在同一掩膜版上实现若干个多阈值高压MOSFET的栅电极的构图差异化,并可以在同一次刻蚀中完成,制造工艺简单、成本低。
公开/授权文献
- CN101635310A 一种多阈值高压MOSFET器件 公开/授权日:2010-01-27
IPC分类: