- 专利标题: 使等离子管外围为电中性的等离子体生成装置
- 专利标题(英): Plasma generation equipment rendered electrically neutral on the periphery of plasma gun
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申请号: CN200880008675.3申请日: 2008-03-27
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公开(公告)号: CN101636520B公开(公告)日: 2012-04-18
- 发明人: 椎名祐一
- 申请人: 日本磁性技术株式会社
- 申请人地址: 日本东京
- 专利权人: 日本磁性技术株式会社
- 当前专利权人: 日本磁性技术株式会社
- 当前专利权人地址: 日本东京
- 代理机构: 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
- 代理商 何腾云
- 优先权: 093356/2007 2007.03.30 JP
- 国际申请: PCT/JP2008/055841 2008.03.27
- 国际公布: WO2008/120656 JA 2008.10.09
- 进入国家日期: 2009-09-16
- 主分类号: C23C14/32
- IPC分类号: C23C14/32 ; H05H1/32
摘要:
本发明提供一种等离子体生成装置,其在等离子管中,可以不减退通过真空电弧放电产生的等离子体的有效量地有效去除混入等离子体的微滴,而且可以简单并廉价地构成微滴去除部,可谋求用高纯度等离子体提高成膜等表面处理的精度。等离子管阴极(407)的外围被外围部件(420)包围,在外围部件(420)的内侧设有由多个对微滴进行捕集的捕集部件(411)按多层状构成的微滴去除装置(406)。外围部件(420)、捕集部件(411)以及等离子体行进路(402)与电弧电源(409)无连接关系,被保持在电中性的浮游状态。
公开/授权文献
- CN101636520A 使等离子管外围为电中性的等离子体生成装置 公开/授权日:2010-01-27
IPC分类: