使等离子管外围为电中性的等离子体生成装置
摘要:
本发明提供一种等离子体生成装置,其在等离子管中,可以不减退通过真空电弧放电产生的等离子体的有效量地有效去除混入等离子体的微滴,而且可以简单并廉价地构成微滴去除部,可谋求用高纯度等离子体提高成膜等表面处理的精度。等离子管阴极(407)的外围被外围部件(420)包围,在外围部件(420)的内侧设有由多个对微滴进行捕集的捕集部件(411)按多层状构成的微滴去除装置(406)。外围部件(420)、捕集部件(411)以及等离子体行进路(402)与电弧电源(409)无连接关系,被保持在电中性的浮游状态。
公开/授权文献
0/0