发明授权
CN101640369B 一种射频电源装置
失效 - 权利终止
- 专利标题: 一种射频电源装置
- 专利标题(英): Radio-frequency (RF) power supply device
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申请号: CN200910189641.5申请日: 2009-08-25
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公开(公告)号: CN101640369B公开(公告)日: 2011-05-25
- 发明人: 高云峰 , 叶建国 , 谢根华 , 张建群
- 申请人: 深圳市大族激光科技股份有限公司
- 申请人地址: 广东省深圳市南山区高新技术园北区新西路9号大族激光大厦
- 专利权人: 深圳市大族激光科技股份有限公司
- 当前专利权人: 深圳市大族激光科技股份有限公司
- 当前专利权人地址: 广东省深圳市南山区高新技术园北区新西路9号大族激光大厦
- 代理机构: 广东国晖律师事务所
- 代理商 陈琳
- 主分类号: H01S3/0977
- IPC分类号: H01S3/0977
摘要:
本发明提供的一种射频电源装置,通过在设置多路输出同步信号源、功率放大器、匹配器、及放电电极,并且匹配器的输出连接所述放电电极并与之匹配,匹配器的输入连接功率放大器的输出并与之匹配,并在直流电源的供电作用下,多路输出同步信号源的输出,经过多路所述功率放大器的同步放大,在多路匹配器的共同作用下,多路放电电极对气体进行射频放电,使多路所述放电电极内的气体产生辉光,所述气体生产等离子体,并在激光谐振腔内产生激光,其采用无线电射频的激励方式,射频的电极被放置在谐振腔外,不和放电气体接触,射电的频率从一万到三百万兆赫,隔着玻璃激励腔内的气体,进行电离和放电,从而避免电极溅射和腐蚀引起谐振腔及光学器件污染。
公开/授权文献
- CN101640369A 一种射频电源装置 公开/授权日:2010-02-03