微机电激光扫描装置的二片式fθ镜片
摘要:
本发明公开一种微机电激光扫描装置的二片式fθ镜片,第一镜片为正屈光度新月形且凸面在微机电反射镜侧的镜片,第二镜片为正屈光度新月形且凹面在微机电反射镜侧的镜片,其中第一镜片具有二个光学面,在主扫描方向至少有一个光学面为非球面,第二镜片具有二个光学面,在主扫描方向至少有一个光学面为非球面,主要将微机电反射镜反射的角度与时间为非线性关系的扫描光线转换成距离与时间为线性关系的扫描光线光点,并修正聚光于目标物上,且第一镜片及第二镜片均满足特定的光学条件,以达到线性扫描效果与高分辨率扫描的目的。
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