发明授权
CN101652192B 制备清洁介质的方法以及用于清洁工件的方法和清洁装置
失效 - 权利终止
- 专利标题： 制备清洁介质的方法以及用于清洁工件的方法和清洁装置
- 专利标题（英）： Method for supplying a cleaning medium, and method and cleaning device for cleaning a workpiece
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申请号： CN200880011399.6申请日： 2008-04-01
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公开(公告)号： CN101652192B公开(公告)日： 2011-10-19
- 发明人: 埃贡·卡斯克
- 申请人： 杜尔艾科克林有限公司
- 申请人地址： 德国菲尔德施塔特
- 专利权人： 杜尔艾科克林有限公司
- 当前专利权人： 埃克科林有限公司
- 当前专利权人地址： 德国菲尔德施塔特
- 代理机构： 中原信达知识产权代理有限责任公司
- 代理商 邹璐; 樊卫民
- 优先权： 102007016246.6 2007.04.04 DE
- 国际申请： PCT/EP2008/002581 2008.04.01
- 国际公布： WO2008/122383 DE 2008.10.16
- 进入国家日期： 2009-10-09
- 主分类号： B08B3/00
- IPC分类号： B08B3/00 ; B08B3/02 ; B05B3/02 ; B05B7/00
摘要：
为了提高制备清洁介质的方法的效率，建议，将清洁气体尤其是空气引入存储器(6)中，并且将加压的清洁液体(38)引入存储器中，用来对处于初始压力之下的清洁气体进行加压。此外还建议了一种对工件进行清洁的方法以及清洁装置。
公开/授权文献
- CN101652192A 制备清洁介质的方法以及用于清洁工件的方法和清洁装置 公开/授权日：2010-02-17
