电学互连结构及其形成方法
摘要:
一种电学结构及其形成方法。该电器结构包括包含第一导电衬垫的第一衬底,包含第二导电衬垫的第二衬底,以及将第一导电衬垫电学及机械地连接到第二导电衬垫的互连结构。该互连结构包含具有圆柱或球体形状的无焊料金属芯结构,第一焊料结构,以及第二焊料结构。第一焊料结构将无焊料金属芯结构的第一部分电学及机械地连接到第一导电衬垫。第二焊料结构将无焊料金属芯结构的第二部分电学及机械地连接到第二导电衬垫。
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