发明授权
CN101656221B 应用于半导体刻蚀清洗设备的全塑料高速机械手
失效 - 权利终止
- 专利标题: 应用于半导体刻蚀清洗设备的全塑料高速机械手
- 专利标题(英): Fully-plastic high-speed manipulator used for semiconductor etching and cleaning device
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申请号: CN200910092223.4申请日: 2009-09-07
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公开(公告)号: CN101656221B公开(公告)日: 2011-03-16
- 发明人: 孙良欣 , 岳树民
- 申请人: 北京中联科伟达技术股份有限公司
- 申请人地址: 北京市朝阳区北苑路40号2号楼
- 专利权人: 北京中联科伟达技术股份有限公司
- 当前专利权人: 北京中联科伟达技术股份有限公司
- 当前专利权人地址: 北京市朝阳区北苑路40号2号楼
- 代理机构: 北京市商泰律师事务所
- 代理商 毛燕生
- 主分类号: H01L21/677
- IPC分类号: H01L21/677 ; H01L21/687 ; H01L21/00
摘要:
应用于半导体刻蚀清洗设备的全塑料高速机械手,属于机械技术领域。采用全自动单轴模式、具备专用移载物水平保持机构、全防腐塑料机构设计方案、动力源与执行机构分区设置,是达到了高速运转、平稳传送、无金属离子污染、无颗粒污染、防腐蚀等优越性和谐统一的机械手。
公开/授权文献
- CN101656221A 应用于半导体刻蚀清洗设备的全塑料高速机械手 公开/授权日:2010-02-24
IPC分类: