应用于半导体刻蚀清洗设备的全塑料高速机械手
摘要:
应用于半导体刻蚀清洗设备的全塑料高速机械手,属于机械技术领域。采用全自动单轴模式、具备专用移载物水平保持机构、全防腐塑料机构设计方案、动力源与执行机构分区设置,是达到了高速运转、平稳传送、无金属离子污染、无颗粒污染、防腐蚀等优越性和谐统一的机械手。
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