发明授权
- 专利标题: 感光性树脂和微透镜的制造方法
- 专利标题(英): Photosensitive resin and process for producing microlens
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申请号: CN200880013847.6申请日: 2008-05-14
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公开(公告)号: CN101669069B公开(公告)日: 2013-03-20
- 发明人: 根木隆之 , 坂口崇洋 , 岸冈高广
- 申请人: 日产化学工业株式会社
- 申请人地址: 日本东京都
- 专利权人: 日产化学工业株式会社
- 当前专利权人: 日产化学工业株式会社
- 当前专利权人地址: 日本东京都
- 代理机构: 北京市中咨律师事务所
- 代理商 段承恩; 田欣
- 优先权: 131444/2007 2007.05.17 JP
- 国际申请: PCT/JP2008/058860 2008.05.14
- 国际公布: WO2008/143095 JA 2008.11.27
- 进入国家日期: 2009-10-27
- 主分类号: G03F7/023
- IPC分类号: G03F7/023 ; G02B3/00 ; G03F7/004
摘要:
本发明的课题是提供具有耐热性、高分辨率、高出光效率的微透镜用材料。作为本发明的解决问题的方法是,提供一种正型抗蚀剂组合物,含有碱溶性聚合物(A)和化合物(B),所述碱溶性聚合物(A)含有具有芳香族稠环或其衍生物的结构单元,所述化合物(B)具有可进行光分解而产生碱溶性基团的有机基团。该正型抗蚀剂组合物具有在波长633nm下折射率为1.6以上、在波长400~730nm下透射率为80%以上的涂膜物性。本发明还提供微透镜的制造方法,该制造方法包括将正型抗蚀剂组合物涂布在基板上,并进行干燥、曝光,然后进行显影的工序。
公开/授权文献
- CN101669069A 感光性树脂和微透镜的制造方法 公开/授权日:2010-03-10
IPC分类: