Invention Grant
- Patent Title: 层选择性激光切除构图
- Patent Title (English): Layer-selective laser ablation patterning
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Application No.: CN200680028267.5Application Date: 2006-05-30
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Publication No.: CN101669224BPublication Date: 2014-05-21
- Inventor: 卡尔·海顿 , 保罗·卡安 , 托马斯·梅雷迪思·布朗
- Applicant: 造型逻辑有限公司
- Applicant Address: 英国剑桥
- Assignee: 造型逻辑有限公司
- Current Assignee: 弗莱克英纳宝技术有限公司
- Current Assignee Address: 英国剑桥
- Agency: 中科专利商标代理有限责任公司
- Agent 王波波
- Priority: 0511132.3 2005.06.01 GB; 0513915.9 2005.07.08 GB
- International Application: PCT/GB2006/050133 2006.05.30
- International Announcement: WO2006/129126 EN 2006.12.07
- Date entered country: 2008-02-01
- Main IPC: H01L51/05
- IPC: H01L51/05

Abstract:
本发明涉及一种制作诸如薄膜晶体管之类的电子器件的方法,使用激光切除用于选择性切除。所述有机电子器件具有这样的结构,包括上导电层和所述上导电层的紧邻下层,并且具有至少一种溶液可处理半导体层,制作所述有机电子器件的方法包括通过以下步骤对所述结构的所述上导电层进行构图:使用脉冲激光对所述上导电层进行激光切除以从用于所述构图的所述下层去除上导电层的区域;以及其中所述激光切除使用所述激光的单独脉冲以实质上完全地去除所述上导电层的所述区域以暴露出下面的所述下层。
Public/Granted literature
- CN101669224A 层选择性激光切除构图 Public/Granted day:2010-03-10
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IPC分类: