发明授权
CN101673715B 浅结互补双极晶体管的制造方法
失效 - 权利终止
- 专利标题: 浅结互补双极晶体管的制造方法
- 专利标题(英): Method for manufacturing shallow junction complementary bipolar transistor
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申请号: CN200910190948.7申请日: 2009-09-25
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公开(公告)号: CN101673715B公开(公告)日: 2012-05-02
- 发明人: 李荣强 , 崔伟 , 张正元
- 申请人: 中国电子科技集团公司第二十四研究所
- 申请人地址: 重庆市南岸区南坪花园路14号
- 专利权人: 中国电子科技集团公司第二十四研究所
- 当前专利权人: 中国电子科技集团公司第二十四研究所
- 当前专利权人地址: 重庆市南岸区南坪花园路14号
- 主分类号: H01L21/84
- IPC分类号: H01L21/84
摘要:
本发明公开了一种浅结互补双极晶体管的制造方法。本发明方法的主要工艺步骤为:1)通过硅/硅键合、减薄抛光方法形成SOI材料片;2)在所述SOI材料片上通过深槽刻蚀、多晶硅回填的深槽介质隔离加浅隔离墙方法,结合具有浅结多晶硅发射极的纵向NPN管与纵向PNP管兼容的互补双极工艺,制作所述浅结互补双极晶体管。本发明方法提高了互补双极晶体管的耐压(BVCEO>5.0V)和厄利电压,同时也兼顾了其特征频率。本发明实现了大幅降低隔离结的漏电流,其浅结互补双极晶体管的漏电流小于10-12A。它广泛应用于高速互补双极工艺制造领域。
公开/授权文献
- CN101673715A 浅结互补双极晶体管的制造方法 公开/授权日:2010-03-17
IPC分类: