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腔盖启闭机构
Abstract:
本发明公开了一种腔盖启闭机构,包括控制单元、驱动机构、传动机构、两执行机构及具有腔盖的设备腔,其传动机构包括传动轴、减速器、蜗杆、蜗轮、连接轴及呈中空结构的支撑体,支撑体与腔体的一侧壁固定连接,连接轴贯穿支撑体且平行于腔盖,连接轴的两端分别与两执行机构连接,蜗轮固定于连接轴上且位于支撑体内,蜗杆设置于支撑体内且与蜗轮垂直啮合,减速器的输出轴与蜗杆一端连接,输入轴与传动轴的一端连接,传动轴的另一端与驱动机构连接,控制单元控制驱动机构运动,驱动机构通过传动机构同步的带动两执行机构,实现腔盖的启闭,本发明结构简单、操作方便、省力、安全、精度高、不易使腔盖变形,保证OLED生产中真空设备的高真空度。
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