Invention Grant
CN101673810B 腔盖启闭机构
失效 - 权利终止
- Patent Title: 腔盖启闭机构
- Patent Title (English): Opening and closing mechanism of cavity cover
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Application No.: CN200910042397.XApplication Date: 2009-09-03
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Publication No.: CN101673810BPublication Date: 2011-06-22
- Inventor: 杨明生 , 刘惠森 , 范继良 , 王伟 , 郭远伦 , 王曼媛 , 王勇
- Applicant: 东莞宏威数码机械有限公司
- Applicant Address: 广东省东莞市南城区宏图高新技术开发区黄金路东莞宏威数码机械有限公司
- Assignee: 东莞宏威数码机械有限公司
- Current Assignee: 东莞宏威数码机械有限公司
- Current Assignee Address: 广东省东莞市南城区宏图高新技术开发区黄金路东莞宏威数码机械有限公司
- Agency: 广州三环专利代理有限公司
- Agent 张艳美; 郝传鑫
- Main IPC: H01L51/56
- IPC: H01L51/56
Abstract:
本发明公开了一种腔盖启闭机构,包括控制单元、驱动机构、传动机构、两执行机构及具有腔盖的设备腔,其传动机构包括传动轴、减速器、蜗杆、蜗轮、连接轴及呈中空结构的支撑体,支撑体与腔体的一侧壁固定连接,连接轴贯穿支撑体且平行于腔盖,连接轴的两端分别与两执行机构连接,蜗轮固定于连接轴上且位于支撑体内,蜗杆设置于支撑体内且与蜗轮垂直啮合,减速器的输出轴与蜗杆一端连接,输入轴与传动轴的一端连接,传动轴的另一端与驱动机构连接,控制单元控制驱动机构运动,驱动机构通过传动机构同步的带动两执行机构,实现腔盖的启闭,本发明结构简单、操作方便、省力、安全、精度高、不易使腔盖变形,保证OLED生产中真空设备的高真空度。
Public/Granted literature
- CN101673810A 腔盖启闭机构 Public/Granted day:2010-03-17
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