光致抗蚀用化合物、光致抗蚀液及使用其的蚀刻方法
摘要:
本发明涉及从具有氧杂菁色素骨架的化合物,具有花青色素、苯乙烯基色素、部花青色素骨架的化合物,具有酞菁色素骨架的化合物,偶氮化合物,以及偶氮化合物与金属离子的络合物选择的光致抗蚀用化合物。另外,本发明提供了使用含有至少一种上述光致抗蚀用化合物的光致抗蚀液,以及使用上述光致抗蚀液的被加工表面的蚀刻方法。
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