Invention Grant
- Patent Title: 薄膜晶体管用栅极绝缘膜形成剂
- Patent Title (English): Gate insulating film forming agent for thin-film transistor
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Application No.: CN200880018128.3Application Date: 2008-05-28
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Publication No.: CN101681929BPublication Date: 2011-10-19
- Inventor: 前田真一 , 岸冈高广
- Applicant: 日产化学工业株式会社
- Applicant Address: 日本东京都
- Assignee: 日产化学工业株式会社
- Current Assignee: 日产化学工业株式会社
- Current Assignee Address: 日本东京都
- Agency: 北京市中咨律师事务所
- Agent 段承恩; 田欣
- Priority: 143772/2007 2007.05.30 JP
- International Application: PCT/JP2008/059819 2008.05.28
- International Announcement: WO2008/146847 JA 2008.12.04
- Date entered country: 2009-11-30
- Main IPC: H01L29/786
- IPC: H01L29/786 ; C08G59/26 ; H01L21/312 ; H01L51/05
Abstract:
本发明的课题是提供一种新型栅极绝缘膜形成剂,所述的栅极绝缘膜形成剂不仅考虑了栅极绝缘膜刚刚制作完成后的初期电气特性,而且还考虑了在经过使用栅极绝缘膜制作有机薄膜晶体管时的其他工序之后的电气特性、所制作的元件的电气特性方面的可靠性。作为本发明的解决课题的方法是,提供一种薄膜晶体管用栅极绝缘膜形成剂,其特征在于,含有下述低聚物或聚合物以及溶剂,所述低聚物或聚合物含有具有三嗪三酮环的重复单元,所述三嗪三酮环具有含羟烷基的基团作为氮原子上的取代基,并提供由该薄膜晶体管用栅极绝缘膜形成剂得到的薄膜晶体管用栅极绝缘膜和具有该绝缘膜的薄膜晶体管、以及它们的制造方法。
Public/Granted literature
- CN101681929A 薄膜晶体管用栅极绝缘膜形成剂 Public/Granted day:2010-03-24
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IPC分类: