发明授权
CN101685251B 镜头校验方法及系统
失效 - 权利终止
- 专利标题: 镜头校验方法及系统
- 专利标题(英): Camera lens calibration method and system
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申请号: CN200810200271.6申请日: 2008-09-23
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公开(公告)号: CN101685251B公开(公告)日: 2011-07-20
- 发明人: 吕秋玲 , 赵庆国 , 黄臣 , 高燕
- 申请人: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
- 申请人地址: 上海市张江路18号
- 专利权人: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
- 当前专利权人: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
- 当前专利权人地址: 上海市张江路18号
- 代理机构: 上海思微知识产权代理事务所
- 代理商 屈蘅; 李时云
- 主分类号: G03B43/00
- IPC分类号: G03B43/00 ; H01L21/66
摘要:
本发明提供镜头校验方法及系统,以提高校验效率及节约人力资源。该方法包括:获得待检测die的规定检测区域所对应的位置信息,采用待校验Camera检测待检测基元,得到实际检测区域及该区域对应的位置信息和校正特征参数信息,获得调整参数信息,以及根据所述位置信息、校正特征参数信息及调整参数信息,调整实际检测区域,使其与规定检测区域重合。
公开/授权文献
- CN101685251A 镜头校验方法及系统 公开/授权日:2010-03-31