Invention Grant
CN101685264B 光学照明装置、曝光装置以及曝光方法
失效 - 权利终止
- Patent Title: 光学照明装置、曝光装置以及曝光方法
- Patent Title (English): Lighting optical device, exposure system and exposure method
-
Application No.: CN200910173714.1Application Date: 2004-11-02
-
Publication No.: CN101685264BPublication Date: 2014-03-12
- Inventor: 豊田光纪
- Applicant: 株式会社尼康
- Applicant Address: 日本东京千代田区丸之内3丁目2番3号
- Assignee: 株式会社尼康
- Current Assignee: 株式会社尼康
- Current Assignee Address: 日本东京千代田区丸之内3丁目2番3号
- Agency: 北京中原华和知识产权代理有限责任公司
- Agent 寿宁; 张华辉
- Priority: 2003-390674 2003.11.20 JP
- The original application number of the division: 2004800341246 2004.11.02
- Main IPC: G03F7/20
- IPC: G03F7/20 ; G02B27/28 ; G02B27/44
Abstract:
本发明提供一种光学照明装置,适用在将配置在被照射面的掩膜的图案转写到感光性基板的曝光装置中,所述光学照明装置基于来自光源的光束而对所述被照射面进行照明,所述光学照明装置包括:光学元件,其利用有旋光性的光学材料形成;其中,所述光学元件的光学结晶轴配置成与所述照明光学装置的光轴方向一致;所述光学元件具有:在沿光的透过方向的厚度互异的多个部分。
Public/Granted literature
- CN101685264A 光学照明装置、曝光装置以及曝光方法 Public/Granted day:2010-03-31
Information query
IPC分类: