光学照明装置、曝光装置以及曝光方法
Abstract:
本发明提供一种光学照明装置,适用在将配置在被照射面的掩膜的图案转写到感光性基板的曝光装置中,所述光学照明装置基于来自光源的光束而对所述被照射面进行照明,所述光学照明装置包括:光学元件,其利用有旋光性的光学材料形成;其中,所述光学元件的光学结晶轴配置成与所述照明光学装置的光轴方向一致;所述光学元件具有:在沿光的透过方向的厚度互异的多个部分。
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