发明授权
CN101688768B 高速大面积测微仪及其方法
失效 - 权利终止
- 专利标题： 高速大面积测微仪及其方法
- 专利标题（英）： The minute measuring instrument for high speed and large area and the method of thereof
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申请号： CN200880021185.7申请日： 2008-11-11
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公开(公告)号： CN101688768B公开(公告)日： 2011-09-07
- 发明人: 赵龙在 , 诸葛园 , 赵贤模
- 申请人： 韩国标准科学研究院
- 申请人地址： 韩国大田广域市
- 专利权人： 韩国标准科学研究院
- 当前专利权人： 韩国标准科学研究院
- 当前专利权人地址： 韩国大田广域市
- 代理机构： 北京三友知识产权代理有限公司
- 代理商 李辉
- 优先权： 10-2007-0116340 2007.11.14 KR
- 国际申请： PCT/KR2008/006641 2008.11.11
- 国际公布： WO2009/064103 EN 2009.05.22
- 进入国家日期： 2009-12-21
- 主分类号： G01B11/06
- IPC分类号： G01B11/06
摘要：
本发明涉及高速大面积测微仪及其方法，更具体地说，涉及通过聚焦光束椭圆偏光部高速测量样本的属性然后通过测微部精密地测量出现了奇点(singular point)的位置的高速大面积测微仪及其方法。
公开/授权文献
- CN101688768A 高速大面积测微仪及其方法 公开/授权日：2010-03-31
