微机电系统驱动器中的机械松弛追踪和响应
Abstract:
本发明包括用于基于干涉式调制器的可移动反射层的松弛信息来调整驱动电压的系统和方法。在一个实例中,一种用于驱动具有可移动反射层的MEMS装置的装置包括:感测单元,其经配置以产生与至少一个MEMS装置的可移动反射层的时间、环境暴露和帧速率中的一者或一者以上有关的信息;以及驱动器电路,其经配置以施加电压以驱动所述至少一个MEMS装置,所述电压至少部分地基于所述信息。
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