发明公开
- 专利标题: 一种用于嵌入式电容器的铋锌铌薄膜的制备方法
- 专利标题(英): Method for preparing BZN thin film for embedded type capacitor
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申请号: CN200910024398.1申请日: 2009-10-20
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公开(公告)号: CN101693988A公开(公告)日: 2010-04-14
- 发明人: 任巍 , 张效华 , 王昭 , 史鹏 , 陈晓峰 , 吴小清 , 姚熹
- 申请人: 西安交通大学
- 申请人地址: 陕西省西安市碑林区咸宁路28号
- 专利权人: 西安交通大学
- 当前专利权人: 西安交通大学
- 当前专利权人地址: 陕西省西安市碑林区咸宁路28号
- 代理机构: 西安通大专利代理有限责任公司
- 代理商 汪人和
- 主分类号: C23C14/08
- IPC分类号: C23C14/08 ; C23C14/24 ; C23C14/58 ; H01G4/12 ; H01G4/33
摘要:
本发明公开了一种用于嵌入式电容器的铋锌铌薄膜的制备方法,按照步骤依次包括配料、球磨、预烧、成型、烧结、沉积薄膜和热处理,本发明的沉积薄膜是采用脉冲激光沉积技术将以上制得的铋锌铌陶瓷靶材在镀Pt基片或聚合物基底的覆铜板上原位沉积厚度为200~500nm的薄膜。这种采用脉冲激光沉积工艺,在室温下原位沉积的方法制得的薄膜呈现为非晶态的BZN材料,薄膜的表面非常光滑,具有较低的表面粗糙度。本发明制得的BZN薄膜材料的介电常数为60,并且损耗在0.6%左右。在0.3MV/cm时,漏电流密度均为1×10-7A/cm2。充分满足作为嵌入式电容器的介电材料的使用。这非晶态的BZN薄膜材料制备工艺简单,满足电子元器件的快速发展的要求,具有良好的市场前景。