一种采用甲醇或二甲醚制备低碳烯烃的装置，该装置除包括反应器和催化剂再生器外，还包括催化剂预处理器。所述的催化剂预处理器的底部设有气体进口和气体分布器，催化剂预处理器的上部与反应器主体相连接。催化剂预处理器采用提升管预处理器、密相流化床预处理器、移动床预处理器或固定床预处理器。催化剂在装置中依次从反应器、到再生器、再到催化剂预处理器，然后再返回到反应器的循环方式使用。本发明在再生器和反应器中间设置催化剂预处理器，对再生后的催化剂先进行预处理，使催化剂跳过选择性较低的诱导期前期，使催化剂刚参与甲醇或二甲醚制低碳烯烃的反应就能处于高选择性操作区域，因此可使工艺获得更高的乙烯和丙烯收率。