发明公开
CN101704221A 主动驱动研磨装置的修正环驱动机构
失效 - 权利终止
- 专利标题: 主动驱动研磨装置的修正环驱动机构
- 专利标题(英): Conditioning ring driving mechanism for driving grinding device
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申请号: CN200910153716.4申请日: 2009-11-02
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公开(公告)号: CN101704221A公开(公告)日: 2010-05-12
- 发明人: 文东辉 , 牟肇宇 , 吴昊
- 申请人: 浙江工业大学
- 申请人地址: 浙江省杭州市下城区朝晖六区
- 专利权人: 浙江工业大学
- 当前专利权人: 浙江工业大学
- 当前专利权人地址: 浙江省杭州市下城区朝晖六区
- 代理机构: 杭州天正专利事务所有限公司
- 代理商 王兵; 王利强
- 主分类号: B24B53/12
- IPC分类号: B24B53/12
摘要:
一种主动驱动研磨装置的修正环驱动机构,包括机座、主轴、驱动电机和修正环,所述驱动电机安装在机座上,所述驱动电机的输出轴连接所述主轴,所述主轴分别与第一带轮和摆动架传动连接,所述主轴位于摆动架的一端摆动中心的偏心位置,所述的第一带轮通过传动带与第二带轮传动连接,所述第一带轮安装在辅轴上,所述辅轴上安装主动小齿轮,所述主动小齿轮与大齿轮啮合,所述大齿轮与修正环固定连接,所述摆动架的另一端固定安装在所述辅轴上。本发明提供一种主动驱动、研磨精度高并降低成本的主动驱动研磨装置的修正环驱动机构。
公开/授权文献
- CN101704221B 主动驱动研磨装置的修正环驱动机构 公开/授权日:2011-06-29