半导体感光器件及其制造方法和应用
摘要:
本发明公开了一种半导体感光器件,它包括一个源极、一个漏极、一个控制栅极、一个浮栅区、一个衬底以及一个用于连接浮栅区和漏极的p-n结二极管,所述半导体器件的浮栅区用于存储电荷。所述半导体器件的浮栅电势与光照射强度和时间有关,因此可以作为半导体感光器件。本发明还公开了一种上述半导体感光器件和图像传感器的制造方法。本发明还公开了一种由所述半导体感光器件组成的阵列从而形成的图像传感器。本发明公开的半导体感光器件可以简化传统图像传感器中单个像素单元的设计,减小单个像素单元所占用的面积,从而提高图像传感芯片的像素密度,增加图像传感芯片的分辨率并降低制造成本。
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