发明授权
CN101708850B 连续熔炼去除多晶硅中磷和硼的方法及装置
失效 - 权利终止
- 专利标题: 连续熔炼去除多晶硅中磷和硼的方法及装置
- 专利标题(英): Method and device for removing phosphorus and boron in polysilicon by continuous smelting
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申请号: CN200910220059.0申请日: 2009-11-19
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公开(公告)号: CN101708850B公开(公告)日: 2011-09-14
- 发明人: 谭毅 , 董伟 , 李国斌 , 姜大川
- 申请人: 大连理工大学
- 申请人地址: 辽宁省大连市甘井子区凌工路2号
- 专利权人: 大连理工大学
- 当前专利权人: 大连理工大学
- 当前专利权人地址: 辽宁省大连市甘井子区凌工路2号
- 代理机构: 大连理工大学专利中心
- 代理商 关慧贞
- 主分类号: C01B33/037
- IPC分类号: C01B33/037
摘要:
本发明属于用物理冶金技术提纯多晶硅的技术领域,特别涉及一种利用电子束熔炼技术将多晶硅中的杂质磷和硼去除的方法。该方法使用两把电子枪发射电子束分别对多晶硅进行熔炼,同时采用双重工艺去除多晶硅中的磷和硼,首先去除多晶硅中杂质磷,将低磷的多晶硅进一步熔炼蒸发除硼,收集蒸发到沉积板上的低磷低硼的多晶硅的方法。所采用的装置由真空盖、真空圆桶构成装置的外壳,真空圆桶的内腔即为真空室,真空室由左右两个腔组成,中间由隔离板分割。本发明有效提高了多晶硅的纯度,达到了太阳能级硅的使用要求,其提纯效果好,技术稳定,效率高。
公开/授权文献
- CN101708850A 连续熔炼去除多晶硅中磷和硼的方法及装置 公开/授权日:2010-05-19