发明授权
CN101709498B 薄膜沉积用电泳设备
失效 - 权利终止
- 专利标题: 薄膜沉积用电泳设备
- 专利标题(英): Electrophoresis equipment for thin film deposition
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申请号: CN200910273199.4申请日: 2009-12-14
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公开(公告)号: CN101709498B公开(公告)日: 2011-09-14
- 发明人: 周东祥 , 简刚 , 郑亚楠 , 傅邱云 , 刘欢
- 申请人: 华中科技大学
- 申请人地址: 湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号
- 专利权人: 华中科技大学
- 当前专利权人: 华中科技大学
- 当前专利权人地址: 湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号
- 代理机构: 华中科技大学专利中心
- 代理商 李智
- 主分类号: C25D13/00
- IPC分类号: C25D13/00
摘要:
本发明提供了一种薄膜沉积用电泳设备,底座上安放有电泳槽和四根支撑杆,支撑杆间承载有水平滑槽;水平滑槽的顶板和底板分别开有一滑道,两滑道间插有两个电极夹具,水平滑槽的两侧分别设有一螺旋测微器头,螺旋测微器头通过绝缘连接件连接相近的电极夹具,旋转螺旋测微器头推动相接电极夹具在滑槽内水平移动,旋转螺旋测微器头和电极夹具之间还接有弹簧;两电极夹具底部分别夹持一电极,电极位于电泳槽内。本发明可精密调节电极间距,操作方便、稳定、可靠。
公开/授权文献
- CN101709498A 薄膜沉积用电泳设备 公开/授权日:2010-05-19