利索-全球专利检索

  1. 登录
  2. 注册
发明授权
CN101718939B 一种光子晶体微腔结构及其制作方法 失效 - 权利终止

  • 专利标题： 一种光子晶体微腔结构及其制作方法
  • 专利标题（英）： Photonic crystal micro-cavity structure and manufacturing method thereof
  • 申请号： CN200910235973.2
    申请日： 2009-11-03
  • 公开(公告)号： CN101718939B
    公开(公告)日： 2011-08-24
  • 发明人: 富聿岚 , 胡小永 , 龚旗煌
  • 申请人： 北京大学
  • 申请人地址： 北京市海淀区颐和园路5号北京大学
  • 专利权人： 北京大学
  • 当前专利权人： 北京大学
  • 当前专利权人地址： 北京市海淀区颐和园路5号北京大学
  • 代理机构： 北京君尚知识产权代理事务所
  • 代理商 邵可声
  • 主分类号： G02F1/35
  • IPC分类号： G02F1/35
一种光子晶体微腔结构及其制作方法
摘要：
本发明公开了一种光子晶体微腔结构及其制作方法，属于光电子技术领域。本发明的光子晶体微腔结构，包括有机覆盖层、衬底和位于所述有机覆盖层与所述衬底之间的半导体光子晶体微腔；所述有机覆盖层为非线性有机共轭聚合物；本发明的方法为：1)在衬底上生长一层半导体薄膜；2)在半导体薄膜上刻蚀光子晶体微腔结构；3)在光子晶体微腔结构上制备一层有机覆盖层；所述有机覆盖层为非线性有机共轭聚合物。与现有技术相比，本发明的光子晶体微腔制备的光开关具有高Q值、低泵浦功率低功率、开关时间响应快的特点，同时加工和制备方便，非常利于集成。
摘要（英）：

The invention discloses a photonic crystal micro-cavity structure and a manufacturing method thereof, which belongs to the technical field of photoelectron. The photonic crystal micro-cavity structure comprises an organic coating, a substrate and a semiconductor photonic crystal micro-cavity positioned between the organic coating and the substrate, wherein the organic coating is a non-linear organic conjugated polymer. The method comprises: 1) growing a semiconductor thin film on the substrate; 2) etching the photonic crystal micro-cavity structure on the semiconductor thin film; and 3) preparing the organic coating on the photonic crystal micro-cavity structure, wherein the organic coating is the non-linear organic conjugated polymer. Compared with the prior art, optical switches prepared through the photonic crystal micro-cavity have the characteristics of high Q value, low pump power, low power, fast switching time response, and processing and preparation convenience and help to integration.

公开/授权文献
0/0