一种基于超导线圈的强磁场磁控溅射阴极
摘要:
一种基于超导线圈的强磁场磁控溅射阴极。由平面靶材(1)、水冷背板(2)超导线圈(3)、外磁轭(4)、内磁轭(5)和底磁轭(6)、杜瓦(7)和阴极电源构成;超导线圈(3)置于在由外磁轭(4)、内磁轭(5)和底磁轭(6)包围的空间内,超导线圈(3)和外磁轭(4)、内磁轭(5)和底磁轭(6)安装在杜瓦(7)中,由液氮循环冷却、液氮加制冷机冷却或制冷机直接冷却。超导线圈(3)根据不同应用场合,可绕制成跑道形或圆形结构,通过电流引线连接到外部直流电源。
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