发明公开
- 专利标题: 蒸发装置
- 专利标题(英): Evaporation apparatus
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申请号: CN200880022053.6申请日: 2008-05-26
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公开(公告)号: CN101743617A公开(公告)日: 2010-06-16
- 发明人: 权真焕 , 宋校俊 , 赵成在 , 朴基柱 , 李炫基 , 睦镇一
- 申请人: 斗山麦卡泰克株式会社
- 申请人地址: 韩国庆尚南道
- 专利权人: 斗山麦卡泰克株式会社
- 当前专利权人: 圆益控股股份有限公司
- 当前专利权人地址: 韩国庆尚南道
- 代理机构: 北京银龙知识产权代理有限公司
- 代理商 许静
- 优先权: 10-2007-0063711 2007.06.27 KR
- 国际申请: PCT/KR2008/002919 2008.05.26
- 国际公布: WO2009/002019 EN 2008.12.31
- 进入国家日期: 2009-12-25
- 主分类号: H01L21/20
- IPC分类号: H01L21/20
摘要:
一种蒸发装置,包括:移动板,其设置在框体上往复移动;多个蒸发源,其用于将蒸发材料蒸发到基板上,以便在基板上沉积蒸发材料,在与该移动板的移动方向相交的方向上,在该移动板上设置多个蒸发源;以及驱动单元,其用于往复移动该移动板。该蒸发装置可简化结构,并可短时间内在基板上沉积均匀厚度的蒸发材料。
公开/授权文献
- CN101743617B 蒸发装置 公开/授权日:2012-05-23
IPC分类: