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CN101743617A 蒸发装置 失效 - 权利终止 转让

蒸发装置
摘要:
一种蒸发装置,包括:移动板,其设置在框体上往复移动;多个蒸发源,其用于将蒸发材料蒸发到基板上,以便在基板上沉积蒸发材料,在与该移动板的移动方向相交的方向上,在该移动板上设置多个蒸发源;以及驱动单元,其用于往复移动该移动板。该蒸发装置可简化结构,并可短时间内在基板上沉积均匀厚度的蒸发材料。
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