化合物及含有该化合物的化学增幅光刻胶组合物
摘要:
本发明提供了由式(I)表示的化合物以及含有该化合物的化学增幅光刻胶组合物:其中P1、P2、P3、P4和P5各自独立地表示氢原子等,而选自由R1、R2、R3、R4、R5、R6、R7、R8和R9组成的组中的至少一个是由式(II)表示的基团:其中X1和X2各自独立地表示氢原子等,n表示1~4的整数,Z1表示C1-C6烷基等,并且环Y表示脂环烃基,而其余的各自独立地表示氢原子、C1-C6烷基或羟基。
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