发明授权
- 专利标题: 晶片还原式无电化学镀金属层方法
- 专利标题(英): Wafer reduction type powerless chemical gilding method
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申请号: CN200810179206.X申请日: 2008-12-01
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公开(公告)号: CN101748395B公开(公告)日: 2011-08-31
- 发明人: 陈俊彬
- 申请人: 化津科技有限公司
- 申请人地址: 中国台湾台北县
- 专利权人: 化津科技有限公司
- 当前专利权人: 化津科技有限公司
- 当前专利权人地址: 中国台湾台北县
- 代理机构: 北京科龙寰宇知识产权代理有限责任公司
- 代理商 孙皓晨
- 主分类号: C23C18/44
- IPC分类号: C23C18/44
摘要:
本发明提供了一种晶片还原式无电化学镀金方法,是将晶片浸入于有机溶剂槽内溶解有机物,而后将晶片浸入于水洗槽内清洗、再将水分去除后,即可对晶片进行等离子体表面处理、去除残留有机物,继而将晶片浸入于预浸润湿槽内增加表面润湿度后,再浸入于化学镀金槽内进行还原反应,并使金沉积于晶片表面上而形成金属层,最后将晶片浸入水洗槽内清洗、再次进行水分去除,便可产生均匀分布、厚度一定且粗糙度较大的金属层,确保金属层品质与优良率,亦可有效增加打线、焊接或覆晶封装时的附着力,也可制作出具特定部位、区域范围与形状的金属层或电极接点,更能节省材料使用及降低制造上的成本。
公开/授权文献
- CN101748395A 晶片还原式无电化学镀金方法 公开/授权日:2010-06-23