发明授权
CN101750639B 光学镀膜装置
失效 - 权利终止
- 专利标题: 光学镀膜装置
- 专利标题(英): Optical coating device
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申请号: CN200810306247.0申请日: 2008-12-15
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公开(公告)号: CN101750639B公开(公告)日: 2012-06-20
- 发明人: 吴佳颖
- 申请人: 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 , 鸿海精密工业股份有限公司
- 申请人地址: 广东省深圳市宝安区龙华镇油松第十工业区东环二路2号
- 专利权人: 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司,鸿海精密工业股份有限公司
- 当前专利权人: 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司,鸿海精密工业股份有限公司
- 当前专利权人地址: 广东省深圳市宝安区龙华镇油松第十工业区东环二路2号
- 主分类号: G02B1/10
- IPC分类号: G02B1/10 ; C23C14/24 ; C23C14/30
摘要:
一种光学镀膜装置,其包括真空镀膜室、待镀元件承载架及镀膜源,所述待镀元件承载架及镀膜源设置于所述真空镀膜室内。所述光学镀膜装置还包括一镀膜挡板,所述镀膜挡板设置于所述待镀元件承载架与所述镀膜源之间,且所述镀膜挡板靠近所述待镀元件承载架。所述镀膜挡板包括一第一挡板及一第二挡板,所述第一挡板可将所述真空镀膜室分隔成两个空间,所述第一挡板具有一通孔,所述通孔对应所述待镀元件承载架与镀膜源设置,以使所述镀膜源产生的镀膜材料气体通过所述通孔到达置于待镀元件承载架的待镀元件上,所述第二挡板可相对所述第一挡板移动并分别遮挡或暴露所述通孔。本发明所提供的光学镀膜装置可精确控制镀膜厚度,并提高镀膜品质。
公开/授权文献
- CN101750639A 光学镀膜装置 公开/授权日:2010-06-23