发明公开
- 专利标题: 双极晶体管及其制造方法
- 专利标题(英): Bipolar transistor and manufacturing method thereof
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申请号: CN200810203811.6申请日: 2008-12-01
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公开(公告)号: CN101752413A公开(公告)日: 2010-06-23
- 发明人: 肖德元 , 季明华
- 申请人: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
- 申请人地址: 上海市浦东新区张江路18号
- 专利权人: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
- 当前专利权人: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
- 当前专利权人地址: 上海市浦东新区张江路18号
- 代理机构: 北京集佳知识产权代理有限公司
- 代理商 李丽
- 主分类号: H01L29/73
- IPC分类号: H01L29/73 ; H01L29/06 ; H01L21/331
摘要:
本发明涉及双极晶体管及其制造方法。其中,双极晶体管的制造方法包括步骤:提供半导体衬底;对所述的第一半导体材料层进行离子注入;刻蚀所述第一半导体材料层和埋入电介质层,形成半导体材料柱和电介质支撑柱;去除所述电介质支撑柱的中段;在所述衬底上沉积金属层至至少掩埋所述半导体材料柱;刻蚀所述金属层,形成金属基极;对半导体材料柱两端的暴露部分进行垂直轻掺杂;对半导体材料柱的暴露部分进行倾斜重掺杂。本发明对发射区和集电区先进行垂直轻掺杂再进行倾斜重掺杂,可以一次性形成与基区接触的重掺杂的发射区,以及在基区和重掺杂的集电区之间的轻掺杂的缓冲区,从而可以通过控制重掺杂角度来控制发射区和集电区之间的击穿电压。
公开/授权文献
- CN101752413B 双极晶体管及其制造方法 公开/授权日:2012-03-07
IPC分类: