双极晶体管及其制造方法
摘要:
本发明涉及双极晶体管及其制造方法。其中,双极晶体管的制造方法包括步骤:提供半导体衬底;对所述的第一半导体材料层进行离子注入;刻蚀所述第一半导体材料层和埋入电介质层,形成半导体材料柱和电介质支撑柱;去除所述电介质支撑柱的中段;在所述衬底上沉积金属层至至少掩埋所述半导体材料柱;刻蚀所述金属层,形成金属基极;对半导体材料柱两端的暴露部分进行垂直轻掺杂;对半导体材料柱的暴露部分进行倾斜重掺杂。本发明对发射区和集电区先进行垂直轻掺杂再进行倾斜重掺杂,可以一次性形成与基区接触的重掺杂的发射区,以及在基区和重掺杂的集电区之间的轻掺杂的缓冲区,从而可以通过控制重掺杂角度来控制发射区和集电区之间的击穿电压。
公开/授权文献
IPC分类:
H 电学
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件(使用半导体器件的测量入G01;一般电阻器入H01C;磁体、电感器、变压器入H01F;一般电容器入H01G;电解型器件入H01G9/00;电池组、蓄电池入H01M;波导管、谐振器或波导型线路入H01P;线路连接器、汇流器入H01R;受激发射器件入H01S;机电谐振器入H03H;扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R;一般电光源入H05B;印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K;在具有特殊应用的电路中使用的半导体器件见应用相关的小类)
H01L29/00 专门适用于整流、放大、振荡或切换,并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的半导体器件;具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒,例如PN结耗尽层或载流子集结层的电容器或电阻器;半导体本体或其电极的零部件(H01L31/00至H01L47/00,H01L51/05优先;除半导体或其电极之外的零部件入H01L23/00;由在一个共用衬底内或其上形成的多个固态组件组成的器件入H01L27/00)
H01L29/66 .按半导体器件的类型区分的
H01L29/68 ..只能通过对一个不通有待整流、放大或切换的电流的电极供给电流或施加电位方可进行控制的(H01L29/96优先)
H01L29/70 ...双极器件
H01L29/72 ....晶体管型器件,如连续响应于所施加的控制信号的
H01L29/73 .....双极结型晶体管
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