发明授权
- 专利标题: 高稳定性齐纳二极管及其制造方法
- 专利标题(英): High-stability Zener diode and manufacturing method thereof
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申请号: CN200810044071.6申请日: 2008-12-09
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公开(公告)号: CN101752429B公开(公告)日: 2011-08-24
- 发明人: 钱文生 , 吕赵鸿
- 申请人: 上海华虹NEC电子有限公司
- 申请人地址: 上海市浦东新区川桥路1188号
- 专利权人: 上海华虹NEC电子有限公司
- 当前专利权人: 上海华虹宏力半导体制造有限公司
- 当前专利权人地址: 上海市浦东新区川桥路1188号
- 代理机构: 上海浦一知识产权代理有限公司
- 代理商 陈履忠
- 主分类号: H01L29/866
- IPC分类号: H01L29/866 ; H01L21/329
摘要:
本发明公开了一种高稳定性齐纳二极管,包括:硅衬底;氧化硅,在硅衬底的上表面;P阱,在硅衬底之中;相邻的P型重掺杂区和N型重掺杂区,在P阱之中;二金属电极,在硅衬底的上表面,且分别接触P型重掺杂区和N型重掺杂区;所述齐纳二极管还包括:多晶硅,在N型重掺杂区上方的氧化硅上表面,所述多晶硅接零电位或低电位。本发明还公开了一种上述齐纳二极管的制造方法。本发明的创新之处在于,在N型重掺杂区上方的二氧化硅上淀积多晶硅,多晶硅接零电位。这样,N型重掺杂区表面的电场垂直地指向硅表面,将使得表面电流变成体电流,减小了硅与氧化硅界面处各种不利的因素对齐纳二极管稳定性的影响,从而有效地提高了齐纳二极管的稳定性。
公开/授权文献
- CN101752429A 高稳定性齐纳二极管及其制造方法 公开/授权日:2010-06-23
IPC分类: