发明授权
- 专利标题: 辐射热测量计及其制作方法
- 专利标题(英): Bolometer and manufacturing method thereof
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申请号: CN201010033316.2申请日: 2010-01-07
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公开(公告)号: CN101776484B公开(公告)日: 2011-05-11
- 发明人: 胥超 , 徐永青
- 申请人: 中国电子科技集团公司第十三研究所
- 申请人地址: 河北省石家庄市中国电子科技集团公司第十三研究所179信箱38分箱
- 专利权人: 中国电子科技集团公司第十三研究所
- 当前专利权人: 中国电子科技集团公司第十三研究所
- 当前专利权人地址: 河北省石家庄市中国电子科技集团公司第十三研究所179信箱38分箱
- 代理机构: 石家庄国为知识产权事务所
- 代理商 李荣文
- 主分类号: G01J5/20
- IPC分类号: G01J5/20
摘要:
本发明提供了一种辐射热测量计及其制备方法,该辐射热测量计通过改变热敏电阻的结构和掺杂浓度使其电阻值符合设计要求以满足应用的需要,结构中包括:基底、位于基底上方的支撑层、制作在支撑层上的下电极、下电极上制备有热敏电阻、热敏电阻上覆有上电极、上电极上制备有吸收层,其中基底和支撑层平行且有间隙地设置,上电极、下电极与热敏电阻组成并联电连接。热敏电阻有间隔地设置在上电极和下电极之间。这种结构设置使热敏电阻的阻值在大范围可调,优化了器件的性能,满足了不同应用的需求,这样将很大程度的提高了设计的灵活性。
公开/授权文献
- CN101776484A 辐射热测量计及其制作方法 公开/授权日:2010-07-14