发明授权
CN101777590B 一种具有白光光伏效应的异质结薄膜材料及其制备方法
失效 - 权利终止
- 专利标题: 一种具有白光光伏效应的异质结薄膜材料及其制备方法
- 专利标题(英): Heterogenous junction film material with white light photovoltaic effect and preparation method thereof
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申请号: CN201010034311.1申请日: 2010-01-15
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公开(公告)号: CN101777590B公开(公告)日: 2011-08-17
- 发明人: 章晓中 , 吴利华 , 万蔡华
- 申请人: 清华大学
- 申请人地址: 北京市100084-82信箱
- 专利权人: 清华大学
- 当前专利权人: 清华大学
- 当前专利权人地址: 北京市100084-82信箱
- 代理机构: 北京众合诚成知识产权代理有限公司
- 代理商 童晓琳
- 主分类号: H01L31/04
- IPC分类号: H01L31/04 ; H01L31/08 ; H01L31/0264 ; H01L31/18 ; C23C14/28 ; C23C14/06
摘要:
本发明公开了属于光学传感器和光电器件材料技术领域的一种具有白光光伏效应的异质结薄膜材料及其制备方法。本发明真空为10-4Pa量级条件下,在沉积温度:300℃~500℃下,在n-Si(100)基片上了依次沉积氧化铝层、钴层和掺杂铁的碳层,得到Fe-C/Co/Al2O3/Si异质结薄膜材料,其中,掺杂铁的碳层作为活性层,厚度为20~100纳米;氧化铝层为绝缘层,厚度为2~3纳米;钴层为过渡层,厚度为5~10纳米。所得产品在室温的白光或可见光波段下对可见光有响应,具有明显的光伏效应,在100mW/cm2的白光照射下,可产生0.15~0.30V的开路电压,或电流密度为2~4mA/cm2的短路电流。
公开/授权文献
- CN101777590A 一种具有白光光伏效应的异质结薄膜材料及其制备方法 公开/授权日:2010-07-14
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