一种熔石英光学损伤元件的修复方法
摘要:
一种熔石英光学损伤元件的修复方法,属于光学材料与光学元件技术领域,具体涉及一种熔石英光学元件激光损伤的修复处理方法。先采用红外二氧化碳激光对熔石英光学损伤元件的损伤部分进行激光熔融修复;再将激光熔融修复后的熔石英光学损伤元件进行退火处理。本发明可对熔石英光学损伤元件进行完全修复,并消除激光熔融修复过程带来的残余应力。经本发明修复后的熔石英光学元件可回复到理想熔石英光学元件状态;同时,本发明还可抑制熔石英光学元件损伤点的增长。本发明可延长熔石英光学元件的使用寿命,大大降低运行成本,具有工艺可控性强、重复性高且性能稳定的特点。
0/0