发明授权
- 专利标题: 一种盒装硅片的取出机构
- 专利标题(英): Mechanism for taking out boxed silicon wafers
-
申请号: CN201010122272.0申请日: 2010-02-10
-
公开(公告)号: CN101789471B公开(公告)日: 2011-09-14
- 发明人: 王燕清
- 申请人: 无锡先导自动化设备有限公司
- 申请人地址: 江苏省无锡市新区国家新技术产业开发区新加坡工业园行创四路7号
- 专利权人: 无锡先导自动化设备有限公司
- 当前专利权人: 无锡先导智能装备股份有限公司
- 当前专利权人地址: 江苏省无锡市新区国家新技术产业开发区新加坡工业园行创四路7号
- 代理机构: 无锡市大为专利商标事务所
- 代理商 殷红梅
- 主分类号: H01L31/18
- IPC分类号: H01L31/18
摘要:
本发明涉及一种盒装硅片的取出机构,其采用第三伺服电机通过连接杆固定在机架上,丝杆上连接联轴器,并与第三伺服电机连接,直线导轨固定在支承座上,升降台固定在直线导轨及丝杆上,第一伺服电机固定在升降台上,转轴安装在升降台上,第一同步带轮安装在第一伺服电机的轴上,第二同步带轮安装在转轴上,同步带连接在第一同步带轮和第二同步带轮上,在传动轴一端上安装同步带轮,在传动轴另一端安装传动轮,第二输送带安装在传动轮及滚轮上。本发明能将盒内的硅片一片一片平稳地取出,硅片不易损坏,取片效率大大提高,其稳定性大大高于手工操作,有效保证了硅片输送的精确度,降低了人力、成本,有效保证硅片在流转中的质量。
公开/授权文献
- CN101789471A 一种盒装硅片的取出机构 公开/授权日:2010-07-28
IPC分类: