一种盒装硅片的取出机构
摘要:
本发明涉及一种盒装硅片的取出机构,其采用第三伺服电机通过连接杆固定在机架上,丝杆上连接联轴器,并与第三伺服电机连接,直线导轨固定在支承座上,升降台固定在直线导轨及丝杆上,第一伺服电机固定在升降台上,转轴安装在升降台上,第一同步带轮安装在第一伺服电机的轴上,第二同步带轮安装在转轴上,同步带连接在第一同步带轮和第二同步带轮上,在传动轴一端上安装同步带轮,在传动轴另一端安装传动轮,第二输送带安装在传动轮及滚轮上。本发明能将盒内的硅片一片一片平稳地取出,硅片不易损坏,取片效率大大提高,其稳定性大大高于手工操作,有效保证了硅片输送的精确度,降低了人力、成本,有效保证硅片在流转中的质量。
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