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固体元件装置及其制造方法
摘要:
一种固体元件装置,其可实现低温下的玻璃封固加工、且提供具有高可靠性封固结构的固体元件装置。对于搭载有GaN系LED元件(2)的含玻璃Al2O3基片(3),平行地设置P2O5-ZnO系低熔点玻璃,且在氮气氛中,将压力设为60kgf,并在415℃及其以上的温度下进行热压加工。该条件下的低熔点玻璃的粘度为109泊,低熔点玻璃通过在含玻璃Al2O3基片(3)的表面上形成的氧化物而被粘接。
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