多足直线压电驱动器与工作台
摘要:
本发明属于微型驱动器范围的一种多足直线压电驱动器与工作台。压电驱动器的基板上伸出的方片形驱动足形成梳状结构,粘接在驱动足侧面的方形压电陶瓷片,压电陶瓷片沿厚度方向极化,所有驱动足的端面在一个平面上;将电信号引入压电陶瓷片的电极面,会同时激发驱动足一阶伸缩振动和一阶或二阶弯曲振动,两种振动的耦合作用使得驱动足底面质点做椭圆运动,驱动器多个足底的椭圆振动累积叠加为宏观直线运动。驱动器座安装在工作台基座上,安装在基座上的光栅尺和光栅头为控制系统提供工作台的精确位置,实现对工作台闭环控制。本发明由于采用多足驱动的形式,驱动力将成倍的增大;压电陶瓷片与空气接触面积大,有利于散热;装配方便且成本较低。
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