Invention Grant
CN101801839B 导电纳米膜及使用该导电纳米膜的微机电系统传感器
失效 - 权利终止
- Patent Title: 导电纳米膜及使用该导电纳米膜的微机电系统传感器
- Patent Title (English): The conductive nanomembrane, and mems sensor of using the same
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Application No.: CN200880102146.XApplication Date: 2008-04-03
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Publication No.: CN101801839BPublication Date: 2012-12-19
- Inventor: 金龙协 , 李廷勋 , 姜泰俊 , 张议允
- Applicant: SNU研发业务基金会
- Applicant Address: 韩国首尔
- Assignee: SNU研发业务基金会
- Current Assignee: SNU研发业务基金会
- Current Assignee Address: 韩国首尔
- Agency: 北京路浩知识产权代理有限公司
- Agent 谢顺星
- International Application: PCT/KR2008/001883 2008.04.03
- International Announcement: WO2009/123371 EN 2009.10.08
- Date entered country: 2010-02-05
- Main IPC: B82B1/00
- IPC: B82B1/00
Abstract:
本发明涉及导电纳米膜以及使用该导电纳米膜的微机电系统传感器，更具体地，涉及通过堆叠聚合物电解质膜和碳纳米管层形成的导电纳米膜，以及使用该导电纳米膜的MEMS传感器。
Public/Granted literature
- CN101801839A 导电纳米膜及使用该导电纳米膜的微机电系统传感器 Public/Granted day:2010-08-11
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