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化学气相沉积反应器
摘要:
提供了CVD反应器,如进行外延层的金属有机化学气相沉积的MOCVD反应器。CVD或MOCVD反应器一般包括流量法兰组件、可调整的比例流喷射器组件、腔室组件和多节段中心旋转轴。反应器向用于减少气体使用并同时改善沉积的性能的特定元件提供新颖的几何形状。
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