本发明涉及一种测量元件，用于提供通过在形成于半导体基板的空洞部设置，在与半导体基板热绝缘的薄壁部形成了成为加热器的电阻体的测量元件中，能容易地进行筛除，且在切割工序中难以被破坏的构造。具备：半导体基板(2)、形成在半导体基板(2)上的电绝缘膜(3)、形成在电绝缘膜(3)上的构成加热器的电阻体(4)、和将与形成了电阻体(4)的主体部(4a)的区域对应的半导体基板(2)部分除去而形成的空洞(21)，形成有电阻体主体部(4a)的区域因空洞部(21)而成为薄壁部(11)，在薄壁部(11)的一部分形成了沿薄壁部(11)的厚度方向贯通的开口(7)，并形成了覆盖开口(7)的区域的膜(9)。