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磁光电流传感器及其制造方法
Abstract:
本发明揭示了一种磁光电流传感器及其制造方法,采用模块化的器件结构,包括沿光路方向依次排列设置的光纤输入模块、光纤输入矫正模块、磁光晶体模块、光纤输出模块及光纤输出矫正模块,其中光纤输入矫正模块与光纤输入模块的偏振分束器相关联,并与光线输入模块一并输出至磁光晶体模块,磁光晶体模块的输出相连到光纤输出模块的偏振分束器,且光纤输出矫正模块与光纤输出模块的偏振分束器相关联。本发明通过模块化设计对光纤输入和光纤输出进行双重矫正,解决了因光学系统抖动或温度漂移等原因引起的噪声,并且采用缓冲层增强了永磁薄膜与衬底之间的附着力,从而提高永磁薄膜的磁学性质,使得偏振光的旋转角更大,测量精度更高。
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