发明授权
- 专利标题: 高速度沟槽图案
- 专利标题(英): High-rate groove pattern
-
申请号: CN200911000251.5申请日: 2009-12-18
-
公开(公告)号: CN101823244B公开(公告)日: 2012-02-29
- 发明人: G·P·马尔多尼
- 申请人: 罗门哈斯电子材料CMP控股股份有限公司
- 申请人地址: 美国特拉华州
- 专利权人: 罗门哈斯电子材料CMP控股股份有限公司
- 当前专利权人: 罗门哈斯电子材料CMP控股股份有限公司
- 当前专利权人地址: 美国特拉华州
- 代理机构: 上海专利商标事务所有限公司
- 代理商 茅翊忞
- 优先权: 12/317,572 2008.12.23 US
- 主分类号: B24D11/04
- IPC分类号: B24D11/04
摘要:
本发明提供一种抛光垫,在抛光垫具有抛光媒质的情况下,用于抛光磁的、光学的和半导体衬底中至少一种。抛光垫包括中心、围绕中心的内部区、从内部区到围绕内部区的外部区连接沟槽的过渡区。外部区具有带有高速度路径的多个沟槽。过渡区邻接外部区并在距中心定义如下的半径内:rTR=0.7r*到1.3r*其中其中,内部区产生连续延伸到外部区的连续沟槽。
公开/授权文献
- CN101823244A 高速度沟槽图案 公开/授权日:2010-09-08