高速度沟槽图案
摘要:
本发明提供一种抛光垫,在抛光垫具有抛光媒质的情况下,用于抛光磁的、光学的和半导体衬底中至少一种。抛光垫包括中心、围绕中心的内部区、从内部区到围绕内部区的外部区连接沟槽的过渡区。外部区具有带有高速度路径的多个沟槽。过渡区邻接外部区并在距中心定义如下的半径内:rTR=0.7r*到1.3r*其中其中,内部区产生连续延伸到外部区的连续沟槽。
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