发明公开
- 专利标题: 用于涡轮分子泵的多级泵转子
- 专利标题(英): Multi-stage pump rotor for turbo-molecular pump
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申请号: CN200880110893.8申请日: 2008-09-19
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公开(公告)号: CN101828040A公开(公告)日: 2010-09-08
- 发明人: 海因里希·恩伦德尔
- 申请人: 厄利孔莱博尔德真空技术有限责任公司
- 申请人地址: 德国科隆
- 专利权人: 厄利孔莱博尔德真空技术有限责任公司
- 当前专利权人: 莱宝有限责任公司
- 当前专利权人地址: 德国科隆
- 代理机构: 北京集佳知识产权代理有限公司
- 代理商 魏金霞; 田军锋
- 优先权: 102007048703.9 2007.10.11 DE
- 国际申请: PCT/EP2008/062519 2008.09.19
- 国际公布: WO2009/049988 DE 2009.04.23
- 进入国家日期: 2010-04-09
- 主分类号: F04D19/04
- IPC分类号: F04D19/04 ; F04D29/64 ; F04D29/32
摘要:
本发明涉及一种用于涡轮分子泵的多级泵转子(10)。泵转子(10)具有至少两个分开的叶片盘环(17),各个叶片盘环都具有转子环(12)和至少一个叶片盘(14)。无间隙地在外侧围绕叶片盘环(17)的转子环(12)的圆筒形的增强管(18)设置在相邻的叶片盘环(17)的叶片盘(14)之间。增强管(18)吸收在操作期间产生的大部分切向力,从而泵转子(10)在高的转子速度下具有改善的稳定性。
公开/授权文献
- CN101828040B 用于涡轮分子泵的多级泵转子 公开/授权日:2012-05-30