发明授权
- 专利标题: 一种框架式可变电容器及其制备方法
- 专利标题(英): Frame-type variable capacitor and preparation method thereof
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申请号: CN201010152297.5申请日: 2010-04-16
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公开(公告)号: CN101840781B公开(公告)日: 2011-09-14
- 发明人: 阮勇 , 尤政 , 李滨 , 张高飞 , 王晓峰 , 邢飞
- 申请人: 清华大学
- 申请人地址: 北京市100084-82信箱
- 专利权人: 清华大学
- 当前专利权人: 江苏智能微系统工业技术股份有限公司
- 当前专利权人地址: 北京市100084-82信箱
- 代理机构: 北京众合诚成知识产权代理有限公司
- 代理商 朱琨
- 主分类号: G01D5/241
- IPC分类号: G01D5/241 ; H01G5/011 ; H01G5/18
摘要:
一种框架式可变电容及其制备方法属于微电子机械系统MEMS器件技术领域,其特征在于所述框架式可变电容器由三维梳齿状驱动电极和三维梳齿状可调电容器构成,是一种双向可动结构,高频或射频信号可以通过所述框架式可变电容的框架结构上的细长而弯曲的悬臂梁引入,电容的可调比小,但电容绝对值大,也可以通过所述框架式可变电容的框架结构上的框架引入,电容可调比大,但电容绝对值小,提出了该可变电容的优选设计参数,相应地提出了制备方法。本发明既可完成对电容值的控制,并能有效提高电容的品质因数Q以及电容的可调比。
公开/授权文献
- CN101840781A 一种框架式可变电容器及其制备方法 公开/授权日:2010-09-22
IPC分类: