一种框架式可变电容器及其制备方法
摘要:
一种框架式可变电容及其制备方法属于微电子机械系统MEMS器件技术领域,其特征在于所述框架式可变电容器由三维梳齿状驱动电极和三维梳齿状可调电容器构成,是一种双向可动结构,高频或射频信号可以通过所述框架式可变电容的框架结构上的细长而弯曲的悬臂梁引入,电容的可调比小,但电容绝对值大,也可以通过所述框架式可变电容的框架结构上的框架引入,电容可调比大,但电容绝对值小,提出了该可变电容的优选设计参数,相应地提出了制备方法。本发明既可完成对电容值的控制,并能有效提高电容的品质因数Q以及电容的可调比。
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