发明公开
- 专利标题: 机械整合并且紧密连接的印刷头和烟雾源
- 专利标题(英): Mechanically integrated and closely coupled print head and mist source
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申请号: CN200880113517.4申请日: 2008-09-02
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公开(公告)号: CN101842165A公开(公告)日: 2010-09-22
- 发明人: 布鲁斯·H·金 , 格雷戈里·詹姆斯·马克斯 , 迈克尔·J·雷恩
- 申请人: 奥普托美克公司
- 申请人地址: 美国新墨西哥州
- 专利权人: 奥普托美克公司
- 当前专利权人: 奥普托美克公司
- 当前专利权人地址: 美国新墨西哥州
- 代理机构: 中科专利商标代理有限责任公司
- 代理商 王旭
- 优先权: 60/969,068 2007.08.30 US
- 国际申请: PCT/US2008/075042 2008.09.02
- 国际公布: WO2009/029942 EN 2009.03.05
- 进入国家日期: 2010-04-27
- 主分类号: B05B1/00
- IPC分类号: B05B1/00 ; B05B5/00 ; C23C16/00 ; H01L21/44
摘要:
一种沉积装置,所述装置包括在结构上与沉积头整合的一个或多个雾化器。整个沉积头可以是可更换的,并且可以用材料预先填充。沉积头可以包括多个喷嘴。此外,还提供一种用于三维材料沉积的装置,所述装置包括与不可倾斜的雾化器连接的可倾斜沉积头。还提供用于同时或依次沉积不同材料的方法和装置。
公开/授权文献
- CN101842165B 机械整合并且紧密连接的印刷头和烟雾源 公开/授权日:2013-06-19