- 专利标题： 利用定量测量电弧事件的概率性模型进行电弧探测的宽带采样应用
- 专利标题（英）： Application of wideband sampling for arc detection with a probabilistic model for quantitatively measuring arc events
-
申请号： CN200880114415.4申请日： 2008-11-13
-
公开(公告)号： CN101843178B公开(公告)日： 2013-11-20
- 发明人: 戴维·J·库莫
- 申请人： MKS仪器有限公司
- 申请人地址： 美国马萨诸塞州
- 专利权人： MKS仪器有限公司
- 当前专利权人： MKS仪器有限公司
- 当前专利权人地址： 美国马萨诸塞州
- 代理机构： 北京德琦知识产权代理有限公司
- 代理商 罗正云; 王琦
- 优先权： 12/031,171 2008.02.14 US; 12/175,867 2008.07.18 US
- 国际申请： PCT/US2008/083347 2008.11.13
- 国际公布： WO2009/102358 EN 2009.08.20
- 进入国家日期： 2010-04-30
- 主分类号： H05H1/24
- IPC分类号： H05H1/24 ; G01R29/00 ; H01H9/30 ; H01J23/00
摘要：
一种用于等离子体发生系统的电弧探测系统，包括：射频(RF)传感器，该RF传感器基于与等离子体室相连通的(RF)电源信号的电特性产生相应的第一信号和第二信号。相关模块基于所述第一信号和所述第二信号产生电弧探测信号。所述电弧探测信号指示所述等离子体室中是否正在发生电弧，并且该电弧探测信号被用来改变所述RF电源信号的特征以熄灭所述电弧。
公开/授权文献
- CN101843178A 利用定量测量电弧事件的概率性模型进行电弧探测的宽带采样应用 公开/授权日：2010-09-22
IPC分类:
