一种高真空衬氟设备
摘要:
本发明公开了一种真空衬氟设备,提供了一种结构简单、使用效果好、延长使用寿命,可在强腐蚀、高温、高真空条件下正常使用的真空衬氟设备,解决了现有技术中存在的真空衬氟设备在高温、高真空条件下使用时衬氟层易出现鼓泡、脱落,需要经常维护及修复设备,从而降低设备的使用寿命、降低生产效率、提高生产成本等的技术问题,它包括与真空系统相连的密封结构,在密封结构的内壁面上设有耐腐蚀的氟衬层,在所述氟衬层与密封结构的内壁面之间设有吸附腔,所述吸附腔通过密封结构上的吸附腔排气口与密封结构外的附加真空系统相连通。
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