Invention Grant
- Patent Title: 复合真空泵
- Patent Title (English): Composite vacuum pump
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Application No.: CN200910106271.4Application Date: 2009-03-31
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Publication No.: CN101852199BPublication Date: 2011-11-09
- Inventor: 储继国
- Applicant: 储继国
- Applicant Address: 广东省深圳市南山区南海大道3688号
- Assignee: 储继国
- Current Assignee: 储继国
- Current Assignee Address: 广东省深圳市南山区南海大道3688号
- Agency: 深圳中一专利商标事务所
- Agent 张全文
- Main IPC: F04B41/06
- IPC: F04B41/06 ; F04B37/14 ; F04D19/04 ; F04C18/14
Abstract:
本发明属抽真空设备领域,提供一种复合真空泵,包括泵壳、以及开设于所述泵壳上的进气口及排气口,所述泵壳内设有若干级同轴安装的牵引分子泵和罗茨泵;所述牵引分子泵采用并联或者串联组合,置于靠近所述进气口处;所述罗茨泵采用串联组合,置于靠近所述排气口处;所述牵引分子泵和罗茨泵采用串联组合。本发明所提供的复合真空泵抽速大、极限真空高、能耗低、尺寸小、重量轻,还能获得清洁的中真空和高真空。
Public/Granted literature
- CN101852199A 复合真空泵 Public/Granted day:2010-10-06
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