Invention Grant

复合真空泵
Abstract:
本发明属抽真空设备领域,提供一种复合真空泵,包括泵壳、以及开设于所述泵壳上的进气口及排气口,所述泵壳内设有若干级同轴安装的牵引分子泵和罗茨泵;所述牵引分子泵采用并联或者串联组合,置于靠近所述进气口处;所述罗茨泵采用串联组合,置于靠近所述排气口处;所述牵引分子泵和罗茨泵采用串联组合。本发明所提供的复合真空泵抽速大、极限真空高、能耗低、尺寸小、重量轻,还能获得清洁的中真空和高真空。
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