发明授权
- 专利标题： 一种铌酸锂晶体抛光液及制备方法
- 专利标题（英）： Lithium niobate crystal polishing solution and preparation method thereof
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申请号： CN201010207566.3申请日： 2010-06-13
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公开(公告)号： CN101857775B公开(公告)日： 2013-11-06
- 发明人: 张永峰 , 王宝运
- 申请人： 北京国瑞升科技有限公司
- 申请人地址： 北京市海淀区上地信息路12号中关村发展大厦C座401室
- 专利权人： 北京国瑞升科技有限公司
- 当前专利权人： 北京国瑞升科技股份有限公司
- 当前专利权人地址： 北京市海淀区上地信息路12号中关村发展大厦C座401室
- 代理机构： 北京海虹嘉诚知识产权代理有限公司
- 代理商 吴小灿
- 主分类号： H01L21/302
- IPC分类号： H01L21/302
摘要：
一种铌酸锂晶体抛光液及制备方法，其特征是，包括以下成分及其重量百分含量：二氧化硅为5～50，pH值调节剂为0.5～5，醚醇类活性剂为0.02～2，氧化剂为0.5～5，分散剂为0.1～10，去离子水为余量；所述二氧化硅以硅溶胶的状态加入或者以所述二氧化硅的硅溶胶为母液配制抛光液。所述抛光液是一种操作简单，制备方便，并且化学作用强、抛光效率高、表面粗糙度低、无划伤的、可专用于铌酸锂晶体的抛光液。
公开/授权文献
- CN101857775A 一种铌酸锂晶体抛光液及制备方法 公开/授权日：2010-10-13
IPC分类:
